Ion-plazma bilan tozalash

Past temperaturali gaz-razryad plazma komponentlaridan ionlar, elektronlar, qoʻzgʻalgan atomlar va erkin radikallardan foydalangan holda, taglik sirtidan moddalarni yoʻqotish usuli.русскийионно-плазменное травление, Способ удаления вещества с поверхности подложки с использованием компонентов низкотемпературной газоразрядной плазмы ионов, электронов, возбужденных атомов и свободных радикалованглийскийion-plazma etching