Вакуум чанглаш техникаси

Вакуумда буғланаётган ёки пуркалаётган модда оқимидан зарраларнинг ёʻналтирилган чўкиш методи орқали плёнкали қопламларни бошқариладиган тарзда тушириш учун мўлжалланган қурилма ва ускуна.русчавакуумная напылительная техника, Устройства и оборудование для управляемого нанесения пленочных покрытий в вакууме методоминглизчаatomic beam frequency standard