Ionli legirlash

Qattiq jismga uni vakuumda aralashma moddaning ionlari bilan bombardimon qilish orqali legirlovchi aralashmalarni kiritish.русскийионное легирование, Введение легирующих примесей в твёрдое тело путём бомбардировки его в вакууме ионами примесного вещества.английскийionimplant doping