Ion-nur choʻktirish

Taglikka past energiyalar ionlarining fokuslangan dastasi orqali metall, yarimoʻtkazgichlar yoki dielektriklarning yupqa qatlamini tushirish.русскийионно-лучевое насаждение, Способ нанесения на подложку тонких плёнок металла, полупроводников или диэлектриков с помощью сфокусированных пучков ионов низких энергийанглийскийion-beam deposition