фотолитография
fotolitografiyaфотолитография
от плгрф. Литография учун босма қолип тайёрлаш усули: тасвирни ёруғлик сезгир қатлам билан қопланган тош ёки металлга тушириш (босиш); шундай усулда тайёрланган босма қолипдан олинган нусха.
Фотолитография усули.
фотолитография
ингл:рус: Интеграл микросхемаларни яратишда ишлатиладиган расмни лазер ёрдамида шакллантириш усули.инглизчаphotolithographyрусчафотолитография