{"headword": "элионная технология", "key": "elionnaya texnologiya", "entries": [{"dictionary": {"name": "Словарь электронной техники и радиоэлектроники", "title": "Электрон техника ва радиоэлектроникага оид атамаларнинг ўзбекча-русча изоҳли луғати", "kind": "Терминологический", "imprint": "Аҳмедова, Ё.; Тулаганов, Ш.; Жабборов, Т. (2007). Электрон техника ва радиоэлектроникага оид атамаларнинг ўзбекча-русча изоҳли луғати. Tashkent: Билим.", "url": "https://til.uz/lugatlar/elektron-texnika-va-radioelektronikaga-oid-atamalarning-ozbekcha-ruscha-izohli-lugati/", "page": "381"}, "pos": "", "labels": [], "variants": [], "etymology": "", "phraseology": "", "pronunciation": "", "senses": [], "translations": [], "cross_references": [], "extra": {"raw_word": "ru - элионная технология en - electroionization technology", "raw_meaning": "риш (бомбардимон қилиш) орқали электрон техника маҳсулотларини тайёрлаш усуллари ва йўлларининг жами. Совокупность приемов и способов изготовления изделий электронной техники с субмикронными размерами (менее 1 mkm) элементов посредством облучения (бомбардировки) материала изделий направленными потоками электронов или ионов."}}]}