Elektron rezist
Электрон резистElektron rezist
Energiyasi 5 dan 50 keV gacha boʻlgan elektronlar dastasining taʼsiriga sezgir rezist.русскийэлектронорезист, Резист, чувствительный к воздействию пучка электронов с энергиями от 5 до 50 keV.английскийelectron-beam resist