Qattiq jismlardan ularning sirtini atomlar, ionlar, neytronlar, elektronlar, fotonlar bilan bombardimon qilishda zarralarning urib chiqarilishi.ruschaкатодное распыление, Выбивание частиц из твёрдых тел при бомбардировке их поверхности атомами, ионами, нейтронами, электронами, фотонами.inglizchacathode spraying