Taglikda tartibli ravishda joylashgan bir yoki bir nechta epitaksial qatlam. Gomoepitaksial va geteroepitaksial strukturalar farqlanadi.ruschaэпитаксиальная структура, Один или несколько эпитаксиальных слоев, упорядоченно расположенных на подложке. Различают гомоэпитаксиальные и гетероэпитаксиальные структуры.inglizchaepitaxial structure