Vakuumda bugʻlanayotgan yoki purkalayotgan modda oqimidan zarralarning yoʻnaltirilgan choʻkish metodi orqali plyonkali qoplamlarni boshqariladigan tarzda tushirish uchun moʻljallangan qurilma va uskuna.ruschaвакуумная напылительная техника, Устройства и оборудование для управляемого нанесения пленочных покрытий в вакууме методомinglizchaatomic beam frequency standard