Yarimoʻtkazgichli asboblar va integral sxemalarni ularning strukturasini monokristall yarimoʻtkazgichli plastina (taglik) ning bir tomonida yaratish bilan tayyorlash usullarining jami.ruschaпланарная технология, Совокупность способов изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем путем формирования их структуры с одной стороны монокри-inglizchaplanar technology