Паст температурали газ-разряд плазма компонентларидан ионлар, электронлар, қўзғалган атомлар ва эркин радикаллардан фойдаланган ҳолда, таглик сиртидан моддаларни ёʻқотиш усули.русчаионно-плазменное травление, Способ удаления вещества с поверхности подложки с использованием компонентов низкотемпературной газоразрядной плазмы ионов, электронов, возбужденных атомов и свободных радикаловинглизчаion-plazma etching