Қаттиқ жисм сиртини ионларнинг ёʻналтирилган оқими орқали нурлантириш. Ион билан тозалаш, едириш ва ион легирлашда фойдаланилади.русчаионная бомбардировка, Облучение поверхности твёрдого тела направленным потоком ионов. Используется для ионной очистки, травления и ионного легированияинглизчаion impact