Тагликда тартибли равишда жойлашган бир ёки бир нечта эпитаксиал қатлам. Гомоепитаксиал ва гетероепитаксиал структуралар фарқланади.русчаэпитаксиальная структура, Один или несколько эпитаксиальных слоев, упорядоченно расположенных на подложке. Различают гомоэпитаксиальные и гетероэпитаксиальные структуры.инглизчаepitaxial structure