Модда монокристалл қатламининг тагликка (кристаллга) ошириб бориш жараёни. Бунда ошириб бориладиган қатламнинг кристаллографик ёʻналиши тагликнинг криссталлографик ёʻналиши такрорлайди.русчаэпитаксия, Процесс наращивания монокристаллических слоев вещества на подложку (кристалл), при котором кристаллографическая ориентация наращиваемого слоя повторяет кристаллографическую ориентацию подложки.инглизчаepitaxy